CONTACTS AND INTERCONNECTIONS ON SEMICONDUCTORS.

被引：0

作者：

Baglin, J.E.E. ^{[1
]}

Harrison, H.B. ^{[1
]}

Tandon, J.L. ^{[1
]}

Williams, J.S. ^{[1
]}

机构：

[1] IBM, Yorktown Heights, NY, USA, IBM, Yorktown Heights, NY, USA

来源：

| 1984年

关键词：

D O I：

10.1016/b978-0-12-756980-2.50015-1

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

93

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