Effect of mechanical stress on characteristics of silicon thermal oxides

被引：0

作者：

机构：

[1] Yen, Jui-Yuan

[2] Huang, Chia-Hong

[3] Hwu, Jenn-Gwo

来源：

Hwu, J.-G. (hwu@cc.ee.ntu.edu.tw) | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 41期

关键词：

D O I：

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