首页
学术期刊
论文检测
AIGC检测
热点
更多
数据
Determination of the planarization distance for copper CMP process
被引:0
|
作者
:
Hymes, S.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Hymes, S.
[
1
]
Smekalin, K.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Smekalin, K.
[
1
]
Brown, T.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Brown, T.
[
1
]
Yeung, H.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Yeung, H.
[
1
]
Joffe, M.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Joffe, M.
[
1
]
Banet, M.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Banet, M.
[
1
]
Park, T.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Park, T.
[
1
]
Tugbawa, T.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Tugbawa, T.
[
1
]
Boning, D.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Boning, D.
[
1
]
Nguyen, J.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Nguyen, J.
[
1
]
West, T.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
West, T.
[
1
]
Sands, W.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
SEMATECH, Austin, United States
SEMATECH, Austin, United States
Sands, W.
[
1
]
机构
:
[1]
SEMATECH, Austin, United States
来源
:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
|
2000年
/ 566卷
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
5
引用
收藏
页码:211 / 216
相关论文
未找到相关数据