New method for the detection of native oxide on Si with combined use of 16O(α,α)16O resonance and channeling

被引：0

作者：

Watamori, Michio ^{[1
]}

Maeda, Yasuhiro ^{[1
]}

Kubo, Osamu ^{[1
]}

Oura, Kenjiro ^{[1
]}

机构：

[1] Osaka Univ, Osaka, Japan

来源：

Applied Surface Science | 1997年 / 113-114卷

关键词：

Number:; -; Acronym:; MEXT; Sponsor: Ministry of Education; Culture; Sports; Science and Technology;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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