Observation of an inductively coupled RF discharge with one-turn internal antenna

被引：0

作者：

Cicman, Peter ^{[1
]}

Fujita, Hiroharu ^{[1
]}

机构：

[1] Dept. of Elec. and Electronic Eng., Saga University, Honjo-Machi 1, Saga 840-8502, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 2002年 / 41卷 / 5 A期

关键词：

Antenna coils - High energy electrons;

D O I：

10.1143/jjap.41.3114

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3114 / 3119