Variable-energy positron beam system and its application to depth-selective defect analysis

被引:0
作者
Natl Inst of Materials and Chemical, Research, Ibaraki, Japan [1 ]
机构
来源
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1997年 / 121卷 / 1-4期
关键词
D O I
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页码:267 / 270
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