Micro-Raman study of thermoelastic stress distribution in oxidized silicon membranes and correlation with finite element modeling

被引：0

作者：

LPCML , Villeurbanne, France ^{[1
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机构：

来源：

Mater Sci Eng B Solid State Adv Technol | / 1-3卷 / 24-28期

关键词：

D O I：

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