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Investigation of aluminum nitride grown by metal-organic chemical-vapor deposition on silicon carbide
被引：0
作者：
Zetterling, C.-M.
Ostling, M.
Wongchotigul, K.
Spencer, M.G.
Tang, X.
Harris, C.I.
Nordell, N.
Wong, S.S.
机构：
来源：
Journal of Engineering and Applied Science
|
1998年
/
82卷
/
06期
关键词：
D O I：
暂无
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学科分类号：
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