Stresses in 3C-SiC films grown on Si substrates

被引：0

作者：

Jacob, Chacko ^{[1
]}

Pirouz, Pirouz ^{[1
]}

机构：

[1] Case Western Reserve Univ, Cleveland, United States

来源：

IEEE Semiconducting and Semi-Insulating Materials Conference, SIMC | 1999年

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

13

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