Vertical high-speed rotating disk reactors for production scale MOVPE of compound semiconductors

被引：0

作者：

Walker, R.C. ^{[1
]}

Thompson, A. ^{[1
]}

Tompa, Gary S. ^{[1
]}

Zawadzki, Peter A. ^{[1
]}

Gurary, Alexander ^{[1
]}

机构：

[1] EMCORE Corp., Somerset, NJ, USA

来源：

| 1600年 / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, Bellingham, WA, United States卷 / 2364期

关键词：

Semiconductor materials;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用