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Quick deposition of various thin films by intense pulsed ion beam
被引：0
作者：
Masugata, K.
Sonegawa, T.
Ohashi, M.
Hoshino, H.
Shimotori, Y.
Furuuchi, S.
Yamamoto, H.
Ono, T.
Mito, M.
Sato, H.
Hatsushika, T.
Suzuki, T.
Takaai, T.
Yatsui, K.
机构：
来源：
Proceedings of the International Conference on High-Power Particle Beams
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1990年
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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