Hydrogen effect on solid phase epitaxy of Si on Si (0 0 1) surface

被引：0

作者：

Hasegawa, Masataka ^{[1
]}

Tanaka, Yasunori ^{[1
]}

Kobayashi, Naoto ^{[1
]}

机构：

[1] Electrotechnical Lab, Ibaraki, Japan

来源：

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1998年 / 136-138卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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