Electron beam recorder with nanometer-scale accuracy for 100 Gbit/in 2 density mastering

被引：0

作者：

机构：

[1] Kitahara, Hiroaki

[2] Ozawa, Yasuyuki

[3] Asai, Masafumi

[4] Nishida, Tetsuya

[5] Wada, Yasumitsu

来源：

Kitahara, H. (hiroaki_kitahara@post.pioneer.co.jp) | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 43期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

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