High-aspect-ratio rotary polygon micromotor scanners

被引：0

作者：

Microfabrication Laboratory, Dept. Elec. Eng. Comp. Sci., Case W., Cleveland, OH, United States ^{[1
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机构：

来源：

Sens Actuators A Phys | / 1卷 / 73-79期

关键词：

Number:; DABT63-95-C0070; Acronym:; DARPA; Sponsor: Defense Advanced Research Projects Agency; -;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用