Structure of mixed-phase LPCVD silicon films as a function of operating conditions

被引：0

作者：

De Mauduit, B. ^{[1
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Bourgerette, C. ^{[1
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Paillard, V. ^{[2
]}

Puech, P. ^{[2
]}

Caussat, B. ^{[3
]}

机构：

[1] Ctr. d'Elaboration Mat./d'Etud. S., UPR 8011 du CNRS, 29 rue Jeanne Marvig, 31055 Toulouse Cedex 4, France

[2] Université Paul Sabatier, Laboratoire de Physique des Solides, ESA 5477 du CNRS, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse Cedex 4, France

[3] INPT, Laboratoire de Génie Chimique, UMR 5503 du CNRS, 18 chemin de la Loge, 31078 Toulouse Cedex, France

来源：

Journal De Physique. IV : JP | 1999年 / 9 pt 2卷 / 08期

关键词：

D O I：

暂无

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引用

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