Characterisation of the mechanical properties of thin film cantilevers with the atomic force microscope

被引：0

作者：

CSIRO Div of Chemicals and Polymers, Clayton ^{[1
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机构：

来源：

Materials Science Forum | 1995年 / 189-190卷

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

Thin films

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