Effect of substrate bias on microstructure and properties of tetrahedral amorphous carbon films

被引：0

作者：

Zhu, Jiaqi ^{[1
]}

Han, Jiecai ^{[1
]}

Meng, Songhe ^{[1
]}

Li, Qiang ^{[1
]}

Tan, Manlin ^{[1
]}

机构：

[1] Ctr. of Composite Mat., Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, China

来源：

Journal of Materials Science and Technology | 2003年 / 19卷 / SUPPL.期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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