Antistatic technique for suppressing charging in focused ion beam systems using microprobing and ion-beam-assisted deposition

被引:0
作者
机构
[1] Komoda, Hirotaka
[2] Nakatani, Ikuko
[3] Watanabe, Heiji
[4] Yasutake, Kiyoshi
来源
Komoda, H. (hkomoda@nts.ricoh.co.jp) | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 44期
关键词
D O I
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