Low-temperature deposition of SrTiO3 thin films by electron-cyclotron-resonance sputtering for monolithic microwave integrated circuits operating in the mm-wave band

被引：0

作者：

Ikuta, Kenji ^{[1
]}

Tsukada, Mitsuo ^{[1
]}

Nishimura, Hiroshi ^{[1
]}

机构：

[1] NTT System Electronics Lab, Kanagawa, Japan

来源：

| 1960年 / JJAP, Tokyo, Japan卷 / 37期

关键词：

D O I：

暂无

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