Optimization of dipole off-axis illumination by 1st-order efficiency method for sub-120 nm node with KrF lithography

被引：0

作者：

Kim, Seo-Min ^{[1
]}

Kim, Sang-Jin ^{[1
]}

Bang, Chang-Jin ^{[1
]}

Ham, Young-Mog ^{[1
]}

Baik, Ki-Ho ^{[1
]}

机构：

[1] Hyundai Electronics Industries Co, Ltd, Kyungki-do, Korea, Republic of

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 2000年 / 39卷 / 12期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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