SURFACE CHARGE COMPENSATION IN AN ION-ETCHED INSULATOR.

被引:0
作者
Kanter, B.Z. [1 ]
Kozhukhov, A.V. [1 ]
机构
[1] Acad of Sciences of the USSR,, Semiconductor Physics Inst,, Novosibirsk, USSR, Acad of Sciences of the USSR, Semiconductor Physics Inst, Novosibirsk, USSR
来源
Instruments and experimental techniques New York | 1984年 / 27卷 / 4 pt 2期
关键词
D O I
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5
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页码:937 / 939
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