New algorithm for real-time thin film thickness estimation given in situ multiwavelength ellipsometry using an extended Kalman filter

被引：0

作者：

Galarza, C.G. ^{[1
]}

Khargonekar, P.P. ^{[1
]}

Layadi, N. ^{[1
]}

Vincent, T.L. ^{[1
]}

Rietman, E.A. ^{[1
]}

Lee, J.T.C. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Michigan, Ann Arbor, United States

来源：

Thin Solid Films | 1998年 / 313-314卷 / 1-2期

关键词：

Number:; F49620-95-1-0524; Acronym:; -; Sponsor:; AFOSR; Sponsor: Air Force Office of Scientific Research;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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