Structural, electrical and optical properties of SnO2-X:F-layers deposited by DC-reactive magnetron-sputtering from a metallic target in Ar-O2/CF4 mixtures

被引：0

作者：

Mientus, R.

Ellmer, K.

机构：

[1] OptoTransmitter - U., Köpenicker Str. 325b, D-12555 Berlin, Germany

[2] Hahn-Meitner-Institut, Abt. Solare Energetik, Glienicker Str. 100, D-14109 Berlin, Germany

来源：

Surface and Coatings Technology | 1998年 / 98卷 / 1-3期

关键词：

Number:; 748/93; Acronym:; -; Sponsor:;

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摘要：

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