Formation of β-FeSi2 layers on Si(001) substrates

被引：0

作者：

Tanaka, Masaya ^{[1
]}

Kumagai, Yoshinao ^{[1
]}

Suemasu, Takashi ^{[1
]}

Hasegawa, Fumio ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Tsukuba, Ibaraki, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1997年 / 36卷 / 6 A期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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