PREPARATION AND PROPERTIES OF a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICE FILMS.

被引：0

作者：

Wang, Zhichao ^{[1
]}

Liu, Xiangna ^{[1
]}

He, Yuliang ^{[1
]}

Wu, Rulin ^{[1
]}

机构：

[1] Nanjing Univ, China, Nanjing Univ, China

来源：

Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors | 1987年 / 8卷 / 01期

关键词：

CRYSTALS - SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

The preparation method, structure and optical quantum size effect of a-Si:H/a-SiN//x: H superlattice films are reported.

引用

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