Nanostructure of near-surface Si layers formed by implantation and pulsed laser annealing

被引：0

作者：

Klinger, D. ^{[1
]}

Auleytner, J. ^{[1
]}

Zymierska, D. ^{[1
]}

Nowicki, L. ^{[2
]}

机构：

[1] Institute of Physics, Polish Academy of Sciences, Al. Lotników 32/46, PL-02-668 Warsaw, Poland

[2] Soltan Institute for Nuclear Studies, ul. Hoza 69, PL-00-681 Warsaw, Poland

来源：

Journal of Alloys and Compounds | 2004年 / 362卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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