Plasma etching and plasma physics experiments for the undergraduate microelectronics course

被引：0

作者：

Univ of New Mexico, Albuquerque, United States ^{[1
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机构：

来源：

IEEE Trans Educ | / 3卷 / [d]207-212期

基金：

美国国家科学基金会;

关键词：

Education - Engineering education - Integrated circuit manufacture - Semiconductor device manufacture - Teaching;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用