Enhancing P-type conductivity in Mg-doped GaN using oxygen and nitrogen plasma activation

被引：0

作者：

Hwang, Jun-Dar ^{[1
]}

Lai, Zhca-Yong ^{[1
]}

Wu, Ching-Yuan ^{[1
]}

Chang, Shoou-Jinn ^{[2
]}

机构：

[1] Department of Electrical Engineering, Da-Yeh University, 112 Shan-Jiau Rd, Da-Tsuen, Changhua, 886-510, Taiwan

[2] Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, 886-701, Taiwan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 2005年 / 44卷 / 4 A期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1726 / 1729