未找到相关数据
Thin film growth using a high-current, mass-separated low energy ion beam deposition system
被引：0
作者：
ULVAC Japan, Ltd, Kanagawa, Japan
[1
]
机构：
来源：
Thin Solid Films
|
/
1-2卷
/
175-178期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
相关论文