ESCA COMPOSITIONAL PROFILES AND ELECTRICAL PROPERTIES OF DIAMOND-LIKE CARBON FILM/Si MIS STRUCTURE.

被引：0

作者：

Mizokawa, Yusuke ^{[1
]}

Komoda, Osamu ^{[1
]}

Miyasato, Tatsuro ^{[1
]}

Hasegawa, Shigehiko ^{[1
]}

Tokumura, Masao ^{[1
]}

Nakamura, Shogo ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Osaka Prefecture, Sakai, Jpn, Univ of Osaka Prefecture, Sakai, Jpn

来源：

Electronics and Communications in Japan, Part II: Electronics (English translation of Denshi Tsushin Gakkai Ronbunshi) | 1987年 / 70卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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