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Deposition rate of IBS (ion-beam sputtering) deposited Pt films at different substrate temperature
被引：0
作者：
Shanghai Inst of Optics and Fine, Mechanics, Shanghai, China
[1
]
机构：
来源：
Zhongguo Jiguang
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/
10卷
/
893-896期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
4
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