Microstructural investigation of droplets in arc-evaporated TiN films

被引:0
作者
Ljungerantz, H. [1 ]
Hultman, L. [1 ]
Sundgren, J.E. [1 ]
Hakansson, G. [1 ]
Karlsson, L. [1 ]
机构
[1] Linkoping Univ, Linkoping, Sweden
关键词
Titanium compounds;
D O I
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