Device for ion-cleaning substrates and ion-polishing layers

被引：0

作者：

Miller, V.T.

Perveev, A.F.

机构：

来源：

Soviet Journal of Optical Technology (English translation of Optiko-Mekhanicheskaya Promyshlennost) | 1993年 / 60卷 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

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