Reactive coevaporation synthesis and characterization of SrTiO3 thin films

被引:0
作者
Yamaguchi, Hiromu [1 ]
Matsubara, Shogo [1 ]
Miyasaka, Yoichi [1 ]
机构
[1] NEC Corp, Kawasaki, Japan
来源
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 1991年 / 30卷 / 9 B期
关键词
Dielectric Constant - Reactive Coevaporation - Strontium Titanate;
D O I
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页码:2197 / 2199
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