Polysilicon piezoresistive pressure sensor and its temperature compensation

被引：0

作者：

Qu, Hongwei ^{[1
]}

Yao, Suying ^{[1
]}

Zhang, Rong ^{[1
]}

Mao, Ganru ^{[1
]}

Zhang, Weixin ^{[1
]}

Ma, Xiaoqiang ^{[1
]}

Ling, Lei ^{[1
]}

机构：

[1] Tianjin Univ, Tianjin, China

来源：

International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology Proceedings | 1998年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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