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Influence of ion implantation on properties and structure of silicon nitride
被引：0
作者：
Tsinghua Univ, Beijing, China
[1
]
机构：
来源：
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao
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1卷
/
39-44期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
(Edited Abstract)
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