Removal of OH- absorption band in Al(PO3)3-B2O3-AlF3 glasses and their applications to MOS capacitors

被引：0

作者：

Toshiba Advanced Semiconductor Lab, Kawasaki, Japan ^{[1
]}

机构：

来源：

Mater Sci Eng B Solid State Adv Technol | / 1-2卷 / 153-155期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

相关论文

empty

未找到相关数据