Effect of amorphous Si on the epitaxial growth of CoSi2 by Co/Si/Ti/Si solid state epitaxy

被引：0

作者：

Qu, Xin-Ping ^{[1
]}

Ru, Guo-Ping ^{[1
]}

Liu, Jian-Hai ^{[1
]}

Mo, Hong-Xiang ^{[1
]}

Liu, Jing ^{[1
]}

Li, Bing-Zong ^{[1
]}

Chu, Paul K. ^{[1
]}

机构：

[1] Fudan Univ, Shanghai, China

来源：

International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology Proceedings | 1998年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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