Deposition of boron carbide thin film by supersonic plasma jet CVD with secondary discharge

被引：0

作者：

Postel, O. ^{[1
]}

Heberlein, J. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Minnesota, Minneapolis, United States

来源：

Surface and Coatings Technology | 1998年 / 108-109卷 / 1-3期

关键词：

Number:; -; Acronym:; NSF; Sponsor: National Science Foundation; NASA; Sponsor: National Aeronautics and Space Administration;

D O I：

暂无

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引用

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