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Beschichtung von dreidimensionalen Substraten mit einem magnetfeldunterstuetzten Mikrowellen-plasma bei Raumtemperatur
被引：0
|作者：
Weichart, Juergen
Meyer, Bern
Mueller, Joerg
机构：
来源：
Vakuum in der Praxis
|
1991年
/
3卷
/
01期
关键词：
D O I：
暂无
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