Measurement of the Cl atom concentration in RF chlorine plasmas by two-photon laser-induced fluorescence

被引：0

作者：

Ono, Kouichi ^{[1
]}

Oomori, Tatsuo ^{[1
]}

Tuda, Mutumi ^{[1
]}

机构：

[1] Mitsubishi Electric Corp, Hyogo, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters | 1992年 / 31卷 / 3 A期

关键词：

Atoms;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用