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Energetic O- ions and O atoms in planar magnetron sputtering of ZnO target
被引：0
|作者：
机构：
[1] Tominaga, Kikuo
[2] Sueyoshi, Yasuhiko
[3] Munfei, Chong
[4] Shintani, Yoshihiro
来源：
Tominaga, Kikuo
|
1600年
/
32期
关键词：
8;
D O I：
暂无
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学科分类号：
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