Strain relaxation in MBE-grown Si1-xGex/Si(100) heterostructures by annealing

被引:0
作者
机构
[1] Yaguchi, Hiroyuki
[2] Fujita, Ken
[3] Fukatsu, Susumu
[4] Shiraki, Yasuhiro
[5] Ito, Ryoichi
来源
Yaguchi, Hiroyuki | 1600年 / 30期
关键词
Semiconductor devices;
D O I
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