Micro-Raman spectroscopy studies of as-deposited and furnace-annealed a-SiNx:H films

被引：0

作者：

Yue, Ruifeng ^{[1
]}

Wang, Yan ^{[1
]}

Han, Hexiang ^{[1
]}

Liao, Xianbo ^{[1
]}

机构：

[1] Tsinghua Univ, Beijing, China

来源：

Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Vacuum Science and Technology | 2000年 / 20卷 / 04期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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