Mechanical properties and scaling effects in micro-electro-mechanical systems

被引：0

作者：

Mei, Tao ^{[1
]}

Kong, Deyi ^{[1
]}

Zhang, Peiqiang ^{[1
]}

Wu, Xiaoping ^{[1
]}

机构：

[1] Dept. of Mechanics and Mech. Eng., Univ. of Sci. and Technol. of China, Post box: 1130, Anhui, Hefei 230027, China

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