Modification of tribological properties of silicon by boron ion implantation

被引：0

作者：

Gupta, B.K. ^{[1
]}

Bhushan, Bharat ^{[1
]}

Chevallier, Jacques ^{[1
]}

机构：

[1] Ohio State Univ, Columbus, United States

来源：

S T L E Tribology Transactions | 1994年 / 37卷 / 03期

关键词：

23;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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