Effect of deposition temperature on the properties of magnetron sputtered hydrogenated amorphous silicon films

被引:0
作者
机构
[1] Banerjee, Ratnabali
[2] Das, Debajyoti
[3] Batabyal, A.K.
[4] Barua, A.K.
来源
Banerjee, Ratnabali | 1600年 / 28期
关键词
(Edited Abstract);
D O I
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