Monte Carlo simulation of electron beam plasma in a silane-argon mixture

被引:0
作者
Vasenkov, A.V. [1 ]
机构
[1] Inst. of Thermophysics and Physical, Dept. of Novosibirsk Stt. University, Novosibirsk 630090, Russia
来源
Journal of Physics D: Applied Physics | / 32卷 / 03期
关键词
D O I
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页码:240 / 245
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