Two-dimensional distributions of Ti and Ti+ densities in high-pressure magnetron sputtering discharges

被引：0

作者：

机构：

[1] Nafarizal, Nayan

[2] Takada, Noriharu

[3] Shibagaki, Kanji

[4] Nakamura, Keiji

[5] Sago, Yasumi

[6] Sasaki, Koichi

来源：

Nafarizal, N. (n_nayan@nuee.nagoya-u.ac.jp) | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 44期

关键词：

D O I：

暂无

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摘要：

Titanium

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