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ACCELERATION OF THE DIFFUSION OF IMPURITIES BY A PRELIMINARY ION BOMBARDMENT.
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作者
:
Zelevinskaya, V.M.
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Zelevinskaya, V.M.
Kachurin, G.A.
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Kachurin, G.A.
Pridachin, N.B.
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Pridachin, N.B.
机构
:
来源
:
Soviet Physics, Semiconductors (English translation of Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov)
|
1974年
/ 8卷
/ 02期
关键词
:
Compendex;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS
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页码:252 / 253
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